接合
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金属＋絶縁セラミックのはんだ接合部品
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| 微細加工部品をメタライズ処理し、各部品をはんだで接合組立することができます。AuSn, AuGe, Agロウ等のはんだが使用することで、複数部品の組立が可能です。 |
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| マウントキャリア |
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通信用キャリア |
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この技術を使用する製品
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| わずか1.6mm厚の中にCuとMoの7層構造とすることでCTEを8ppm/K以下に制御しています。これには以下の2つの技術を採用しています。 |
| ・電鋳によるCu-Mo-Cu複合材の一括形成技術 |
| ・上記Cu-Mo-Cu複合材をAuSnはんだにより接合・組立、7層構造化 |
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| これらの技術によりお客様の目的に合ったマイクロチャンネルクーラーを開発することにより、 LD搭載の連続動作試験では耐久時間5,000時間を実現しました。 |
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| 当社標準品に対しては設計段階で様々な流路形状をシミュレーションすることで、流路内の圧力分布、乱流エネルギー分布、 流速分布を最適化しています。お客様のご要望に応じた流路形状を設計することが可能です。 |
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金属貫通電極形成技術
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| 本製品はホウ珪酸系ガラス基板中に電気伝導性を有する金属貫通配線を多数形成したものです。 最大φ8インチ基板までの対応が可能です。平面度および気密性が良好で、 Si系デバイス封止用として陽極接合（アノーディックボンディング）が可能です。 |
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| ガラス貫通配線基板（φ0.3mm、ビア数10,296個） |
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| RF-MEMSスイッチへの応用例 |
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この技術を使用する製品
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| 陽極接合とは、ホウ珪酸系ガラスなどのイオンを含むガラスに熱と電圧を印加することにより接合する方法です。 接着剤やはんだを用いない無機接合による高品質な接合が可能となります。 |
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この技術を使用する製品
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