メッシュガラス

従来の加工技術では“不可能”であったRのない四角穴を実現。小径・狭ピッチも可能。

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0.1mm×0.1mmの多数貫通穴加工

・	（例）3インチウェーハで150,000穴

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高アスペクト比（1：8〜10）において貫通穴形状の選択が可能

・	ストレート形状、テーパ形状に対応

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チッピングレスを実現

・	Siとの陽極接合時のコンタクト性が向上

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側壁面へのメタライズが可能

・	光の干渉・吸収を防止

● キャビティー形状も可能

※上記標準仕様以外のご要望については、別途ご相談下さい。