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小径穴ガラス

概要
小径穴ガラス  
接着剤を使用しない謡曲接合が出来るため、アウトガス問題を解決。WLP対応可。
 
 
小径穴ガラス
 
 

特長
● 小径穴加工
 
・ 最小φ0.1mmを実現
● φ300 mmウェーハまで対応可能
（一部加工に関してはφ200mmまでの対応となります）
デバイスウェーハとの接合歩留まりを向上
● 穴周辺部のダレを抑制
● チッピングを低減
 
・

≦10μmまで対応可能
 
標準仕様
材　料 各種ガラス
ガラスサイズ ≦φ300mm(*)
最小厚み 0.15mm
厚み公差 ±0.01mm
最小穴径 φ0.1mm
穴形状 自由形状
穴径公差 ±0.02mm
チッピング ≦100μm
貫通穴断面形状 ストレート/テーパー/段付き
メタライズ加工 可能
※上記標準仕様以外のご要望については、別途ご相談下さい。
 
穴周辺部比較
  
チッピング比較
特殊研磨品   通常研磨品
特殊研磨品   通常研磨品
ダレ量
幅 ＜10μm
深さ ＜0.1μm
 
ダレ量
幅 ＞400μm
深さ ＞0.7μm
 
特殊研磨品   通常研磨品
特殊研磨品   通常研磨品
 
 

市場・用途
車載
・ 各種圧力センサ、各種加速度センサなど
・ ジャイロセンサなど
 
半導体
・ RF-MEMSスイッチなど
・ イメージセンサなど
 
 
 
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