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キャビティーガラス/キャップガラス
概要
ガラス基板内部に高精度なキャビティーを形成。窓部は薄くかつ透明化が可能のため、レーザー光やLED光をゆがみなく透過させたり、窓部を通して液浸顕微鏡で観察させたりする用途に適します。
特長
・キャビティー底面の透明加工が可能
拡大図
拡大図
・側壁面へのメタライズが可能
拡大図
拡大図
用 途
CMOSセンサ用キャップ
観察/分析チップ
LD/LED 光源用キャップ
標準仕様
材 料
各種ガラス
ガラスサイズ
≦φ200mm
最小厚み
0.15mm
厚み公差
±0.01mm
最小キャビティーサイズ
φ0.1mm/□0.07mm
キャビティー形状
制約なし
キャビティー形状公差
±0.02mm
チッピング
≦10μm
キャビティー断面形状
ストレート/テーパー/段付き
メタライズ加工
平面および側壁面に可能
※上記標準仕様以外のご要望については、別途ご相談下さい。
市場・用途
プロジェクタ
・プロジェクタ用映像表示デバイスなど
AVモバイル
・携帯機器(スマートフォン、携帯ゲーム機、デジカメ、カーナビ)用RFスイッチ・リレー、圧力センサ、ジャイロセンサ、加速度センサ、イメージセンサなど
・携帯機器(スマートフォン、携帯ゲーム機、デジカメ)用映像表示デバイスなど
・ピコプロジェクタ用映像表示デバイスなど
半導体
・RF-MEMSスイッチなど
・イメージセンサなど
車載
・各種圧力センサ、各種加速度センサなど
・ジャイロセンサなど
・LEDなど