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クロスエッジ®微細加工について

クロスエッジ®微細加工とは1つの製品の製造の中で異なる2つ以上の加工を組み合わせるもので、最先端技術をクロスさせるという意味です。“切る”、“削る”、“磨く”、“メタライズ”、“接合”の5つの加工技術が中心となっています。

クロスエッジ®微細加工の特長として、複数工程を当社1社が行うことにより次の4つのメリットをお客様に提供することが可能です。

 
  • ① 安定した品質を維持。
  • ② 短納期での加工を実現。
  • ③ コストパフォーマンスの良いサービスを提供。
  • ④ 複数工程を組み合わせ独創的なモノを開発することで、お客様の課題を解決。

たとえば以下のように、金属製品、およびガラス製品ではそれぞれ複数のクロスエッジ®微細加工で加工を行うことにより、お客様のご要望にマッチした製品を提供しています。

 
 
金属加工の要素技術
 
金属加工の要素技術
 
バリレスシャープエッジ加工
バリを最大5μmに抑制しLDとの組立性を向上
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スパッタ
 CVDによるTi, Pt, Au, Ni等のスパッタが可能
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蒸着
AuSnはんだの真空蒸着により、LDとの接合性を向上
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めっき
AuSnはんだの部分めっき、および平面、
凹凸面へのめっき形成が可能
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Cu-Mo-Cu一括形成技術
1.6mm厚にCuとMoの7層構造を形成
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高平坦性加工
反りを最大5μmに抑制し、LDとの組立性を向上
 
ガラス加工の要素技術
 
ガラス加工の要素技術
 
チッピングレス
チッピングを最大10μmに抑制し、デバイスウェーハとの接合性を向上
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特殊ポリッシュ
穴周辺部のダレを抑制し、接合性を向上
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小径穴加工
最小φ0.05mmを実現
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スパッタ
CVDによるTi, Pt, Au, Ni等のスパッタが可能
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めっき

 AuSnはんだの部分めっき、および平面、

凹凸面へのめっき形成が可能

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