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内腔玻璃/封盖玻璃
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贯通孔配线玻璃基板(TGV)
微密孔径玻璃
微流路玻璃
内腔玻璃/封盖玻璃
网孔玻璃
玻璃垫圈
其他
内腔玻璃/封盖玻璃
概要
在玻璃基板内部形成高精度内腔。因为薄而透明的内腔可让激光和LD光直线通过,
适用于通过内腔口来观察浸液显微镜。
优点
・可对内腔底面进行透明加工
放大图
放大图
・可对侧壁面金属化
放大图
放大图
用 途
CMOS 传感器用封盖
观察/分析芯片
LD / LED 光源用封盖
标准规格
材 料
各种玻璃
玻璃尺寸
≦φ200mm
最小厚度
0.15mm
厚度公差
±0.01mm
最小内腔尺寸
φ0.1mm/□0.07mm
内腔形状
没有限制
内腔形状公差
±0.02mm
崩边
≦10μm
内腔断面形状
直/锥形/ 阶梯状
金属化加工
平面以及侧面都能加工
※上述标准规格以外的要求,可通过其他途径进行商讨
市场/ 用途
投影机
・投影机的显示器
AV 移动通信
・便携产品(智能手机,便携式游戏机,数码相机,汽车导航)用RF开关/继电器, 压力传感器,回旋传感器,加速传感器,信息传感器
・便携产品(智能手机,便携式游戏机,数码相机)用的图像显示器
・微型投影仪用的图像显示器
半导体
・RF-MEMS开关
・信息传感器
车载
・各种压力传感器,各种加速度传感器
・回旋传感器
・LED